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電子級硫酸概述

時間:2020-12-09 瀏覽:125次
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  電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。

  電子級硫酸廣泛應用于半導體、超大規模集成電路的裝配和加工過程,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質顆粒、無機殘留物和碳沉積物。

  電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。


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